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應(yīng)用探索202207 桌面型eUV光源在深圳科藝公司實(shí)驗(yàn)室發(fā)光
發(fā)布時(shí)間 : 2022-07-22
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2021年12月,靈感來(lái)自于一篇深圳中能高重復(fù)頻率X射線自由電子實(shí)驗(yàn)站以及與中山大學(xué)合作的實(shí)驗(yàn)站配套建設(shè)的測(cè)試項(xiàng)目,仔細(xì)閱讀《激光等離子體13.5nm極紫外光刻光源進(jìn)展》以及參考ASML,TRUMP,ZEISS相關(guān)信息,萌發(fā)了搭建一個(gè)小型,低成本的桌面型eUV光源,市場(chǎng)能夠看到的光源如下:

 

大型自由電子X(jué)激光源(FEL模式)

 

 

 

ASML系統(tǒng)EUV光源(LPP模式)

 

 

 

荷蘭ISTEQ公司臺(tái)式EUV光源(LPP模式)

 

 

經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)月準(zhǔn)備,先期在廣州實(shí)驗(yàn)室自制測(cè)試儀器,驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)信號(hào),完善實(shí)驗(yàn)中的激光防護(hù)和安全條件,最終在深圳實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)13.5nm的X激光在60w和200w泵浦條件下均實(shí)現(xiàn)信號(hào)輸出,令科藝公司在南中國(guó)大灣區(qū)首次獲得eUV激光源的輸出。展現(xiàn)了大灣區(qū)科技應(yīng)用的典型特點(diǎn):低成本,高效率,快速轉(zhuǎn)化的綜合科技轉(zhuǎn)化能力。

(早幾年哈工大本部采用DPP模式獲得X激光輸出,上海光機(jī)所采用LPP模式獲得X激光輸出)

 

科藝桌面型eUV光源(LPP模式)

 

 

 

由于所有實(shí)驗(yàn)是非真空環(huán)境條件下進(jìn)行,激光損耗和散射比較大,理論估計(jì)本次實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如下:

1.輸出波長(zhǎng)13.5nm

2.輻射總能量:7mW@60W CO2 泵浦(Ti60)

                     12mW@200W CO2 泵浦 (F201)

3.測(cè)試裝備:26所特制5*5*5閃爍體+Thorlab光探測(cè)器2套(慢速高靈敏+高速低靈敏)

                  通用輻射計(jì)1套

 

@200W泵浦時(shí)信號(hào)

 

@60W泵浦時(shí)信號(hào)

 

輻射計(jì)信號(hào)

 

基于初步實(shí)驗(yàn)過(guò)程,充分有效地鍛煉了我們團(tuán)隊(duì)解決新問(wèn)題的應(yīng)變能力,也印證了科藝公司多年在激光應(yīng)用領(lǐng)域豐厚的技術(shù)沉淀和靈活高效的操作手段。

未來(lái),科藝公司也將繼續(xù)與中山大學(xué)及其相關(guān)伙伴共同推進(jìn)此項(xiàng)技術(shù)在超分辨成像儀器方面做一些探索與貢獻(xiàn)。

 

伍慶華

2022-7-22于廣州

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